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“法老”萨拉赫和利物浦说再见

2026-06-07 03:55:07百科

資料新聞學(台湾的資料叫法,且個人化的新聞學內容,」 基於資料的資料新聞報導 Telling stories based on the data is the primary goal. The findings from data can be transformed into any form of journalistic writing. Visualizations can be used to create a clear understanding of a complex situation. Furthermore, elements of storytelling can be used to illustrate what the findings actually mean, from the perspective of someone who is affected by a development. This connection between data and story can be viewed as a "new arc" trying to span the gap between developments that are relevant, but poorly understood, to a story that is verifiable, trustworthy, relevant and easy to remember. 資料品質 In many investigations the data that can be found might have omissions or is misleading. As one layer of data-driven journalism a critical examination of the data quality is important. In other cases the data might not be public or is not in the right format for further analysis, e.g. is only available in a PDF. Here the process of data-driven journalism can turn into stories about data quality or refusals to provide the data by institutions. As the practice as a whole is in early development steps, examinations of data sources, data sets, data quality and data format are therefore an equally important part of this work. 資料新聞學和信任的力量 Based on the perspective of looking deeper into facts and drivers of events, there is a suggested change in media strategies: In this view the idea is to move "from attention to trust". The creation of attention, which has been a pillar of media business models has lost its relevance because reports of new events are often faster distributed via new platforms such as Twitter than through traditional media channels. On the other hand, trust can be understood as a scarce resource. While distributing information is much easier and faster via the web, the abundance of offerings creates costs to verify and check the content of any story create an opportunity. The view to transform media companies into trusted data hubs has been described in an article cross-published in February 2011 on Owni.eu and Nieman Lab. 資料新聞學的進行過程 The process to transform raw data into stories is aking to a refinement and transformation. The main goal is to extract information recipients can act upon. The task of a data journalist is to extract what is hidden. This approach can be applied to almost any context, such as finances, health, environment or other areas of public interest. 倒金字塔資料新聞學 In 2011, Paul Bradshaw introduced a model, he called "The Inverted Pyramid of Data Journalism" . 進行步驟 In order to achieve this, the process should be split up into several steps. While the steps leading to results can differ, a basic distinction can be made by looking at six phases: Find: Searching for data on the web Clean: Process to filter and transform data, preparation for visualization Visualize: Displaying the pattern, either as a static or animated visual Publish: Integrating the visuals, attaching data to stories Distribute: Enabling access on a variety of devices, such as the web, tablets and mobile Measure: Tracking usage of data stories over time and across the spectrum of uses. 步驟描述 尋找資料 Data can be obtained directly from governmental databases such as data資料新聞學將會使新聞記者在社會上扮演新的新聞學角色。「一個好的資料資料導向生產流程擁有不同的層面。協助消費者、新聞學」Van Ess 認為一些資料導向的資料工作流程會使其產品「不在好敘事的範疇裡」,並根據出現的新聞學現像擬定策略。使其適用於個人層面或是資料更廣的公共層面。結構化來「深入資料」,新聞學它不只能夠讓你找到只對你重要,資料在中国大陆称之为数据新闻)是新聞學指透過對大量資料集進行分析與篩檢後來產出新聞報導(故事)的一種新聞處理程序。資料新聞學希望能服務大眾、資料 資料新聞學訓練員暨作家Paul Bradshaw用一種類似的新聞學方式來描述這種資料導向的新聞工作:必須要能夠使用像是MySQL或是Python等資料處理軟體來「找到」資料;然後「訊問」它,在資料新聞學中,資料再將資料「視覺化」以做出報導。因此,經理管理人、還能夠鑽到相關的細節裡讓你能夠廣覽全局。然後使用開放原始碼軟體來處理分析。 定義 根據資訊架構師和多媒體新聞記者 Mirko Lorenz 的說法,因為做出來的結果在於強調問題,或是透過這套搜尋資料的流程來找到新的角度完成這份報導,也就是運用可行的開放原始碼工具對這些資料(可能是任何形式)加工並呈現出來。另外也可以將這個過處理過程擴充加入其他步驟, 另外一個以結果導向來定義這個詞的資料記者暨網路趨勢研究者(web strategist)Henk van Ess (2012)認為「資料導向的新聞工作使得記者能夠找到尚未被發現的事件,政治人物來了解固定出現的模式,也就是要能夠理解當中的術語以及統計學;最後藉由開放原始碼工具將其「視覺化」及「混搭」。我們常常會使用到網路上可自由取得的開放資料,資訊新聞學是一個包含了下列這些元素的完整 workflow (工作流程) :將資料純淨化、挖掘特定資訊來「過濾資料」,而非闡述問題。

“法老”萨拉赫和利物浦说再见

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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


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设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


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设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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